•10公斤負載能力
•1納米橫向導向精度
•分辨率<1納米
•PICMA®高性能多層壓電驅動器
•快速響應
•75微米旅行範圍
•直接計量與電容傳感器的最高精度
•無摩擦精密彎曲導向係統
PDF格式的數據表
PI是精密運動控製設備、壓電電機、空氣軸承工作台和六足並聯運動學的領先製造商,用於半導體應用、光子學、生物納米技術和醫療工程。PI已經開發和製造標準和定製的精密產品與壓電陶瓷和電磁驅動器40年。自1994年以來,公司已通過ISO 9001認證,並為OEM和研究提供創新,高質量的解決方案。PI在全球擁有12家子公司,研發/工程部門分布在3個大洲,員工總數超過950人。
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